압력센서 (with Amp.) PA-920S/928S
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PA-928S
(Current Output) -
PA-920S
(Voltage Output) -
Top angle -
Bottom angle
(W2 seal type)
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PA-928S
(Current Output) -
PA-920S
(Voltage Output) -
Top angle -
Bottom angle
(W2 seal type)
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반도체 가스공급집적화시스템에 적합한 소형 압력 센서
특 징특 징
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소형으로 가스공급라인(인라인)/가스집적화시스템의 용도에 최적
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커넥터화로 설치・배선이 용이
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센서 소자와 피팅은 용접에 의한 일체 구조
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출력은 전압/전류의 2 종류
모델 번호 지정
| PA-920S - | 502G | W2 | ||
|---|---|---|---|---|
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시리즈 PA-920S: 전압출력 (1-5 V) |
정격압력/지시방식 G: 게이지압 (정압) |
피팅 형상 W2:1.125인치 W-씰 |
모델 번호 목록
| 모델 번호 | 지시 방식 | 정격 압력 | 최대 압력 | 출력 방식 | 피팅 |
|---|---|---|---|---|---|
| PA-920S-502G-W2 | 정압 | 0～0.5 MPa | 0.75 MPa | 전압출력 | 1.125인치 W-씰 |
| PA-920S-502G-C2 | 정압 | 0～0.5 MPa | 0.75 MPa | 전압출력 | 1.125인치 C-씰 |
| PA-928S-502G-W2 | 정압 | 0～0.5 MPa | 0.75 MPa | 전류출력 | 1.125인치 W-씰 |
| PA-928S-502G-C2 | 정압 | 0～0.5 MPa | 0.75 MPa | 전류출력 | 1.125인치 C-씰 |
| PA-920S-502R-W2 | 연성압 | -0.1～0.5 MPa | 0.75 MPa | 전압출력 | 1.125인치 W-씰 |
| PA-920S-502R-C2 | 연성압 | -0.1～0.5 MPa | 0.75 MPa | 전압출력 | 1.125인치 C-씰 |
| PA-928S-502R-W2 | 연성압 | -0.1～0.5 MPa | 0.75 MPa | 전류출력 | 1.125인치 W-씰 |
| PA-928S-502R-C2 | 연성압 | -0.1～0.5 MPa | 0.75 MPa | 전류출력 | 1.125인치 C-씰 |
| PA-920S-103G-W2 | 정압 | 0～1 MPa | 1.5 MPa | 전압출력 | 1.125인치 W-씰 |
| PA-920S-103G-C2 | 정압 | 0～1 MPa | 1.5 MPa | 전압출력 | 1.125인치 C-씰 |
| PA-928S-103G-W2 | 정압 | 0～1 MPa | 1.5 MPa | 전류출력 | 1.125인치 W-씰 |
| PA-928S-103G-C2 | 정압 | 0～1 MPa | 1.5 MPa | 전류출력 | 1.125인치 C-씰 |
| PA-920S-103R-W2 | 연성압 | -0.1～1 MPa | 1.5 MPa | 전압출력 | 1.125인치 W-씰 |
| PA-920S-103R-C2 | 연성압 | -0.1～1 MPa | 1.5 MPa | 전압출력 | 1.125인치 C-씰 |
| PA-928S-103R-W2 | 연성압 | -0.1～1 MPa | 1.5 MPa | 전류출력 | 1.125인치 W-씰 |
| PA-928S-103R-C2 | 연성압 | -0.1～1 MPa | 1.5 MPa | 전류출력 | 1.125인치 C-씰 |
표준사양
| 작동 온도 | -20～70℃ (결로가 없을 것) |
|---|---|
| 보상 온도 | 0～50℃ |
| 작동 습도 | 35～85％RH (결로가 없을 것) |
| 저장 온도 | -20～80 ℃ (대기압, 습도 65 % RH 이하) |
| 적용 매체 | SUS316L 더블멜트재료를 부식시키지 않는 기체 및 액체 |
| 절연 저항 | 50 MΩ 이상 (충전부와 피팅사이 125 VDC 인가후) |
| 내전압 | 리크 전류 5mA 이하 (충전부와 피팅사이 12VDC 1분간 인가) |
| 접가스부 재질 | SUS316L 더블 멜트재(피팅/센서) |
| 접가스부면 조도 | Ra：0.15, Rz：0.7 μm 이하＊1 |
| 파티클 (매체 통로내부) | 0.1μm 이상의 입자: 노카운트(당사 검사 기준에 따름) |
| 보호 구조 | IP40 |
| 질량 | 약 90g (케이블 제외) |
| 전원 | PA-920S : 구동 전압 12 ~ 24 VDC±10 % (리플 포함) 소비 전류 20 mA 이하 (Vopr = 24 V, Io = 0 mA시) PA-928S : 24 VDC±10 %(리플 포함) |
아날로그 출력
| 型 式 | PA-920S | PA-928S | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 502G | 103G | 502R | 103R | 502G | 103G | 502R | 103R | |
| 출력전압/전류 | １~ 5 VDC (FS : 4 V) ※1 | 4 ~ 20 mA (FS : 16 mA) ※1 | ||||||
| 제로전압/전류 | 1 V | 1.67 V | 1.36 V | 4 mA | 6.67 mA | 5.46 mA | ||
| 풀전압/전류 | 5 V | 20 mA | ||||||
| 출력전류 | 1 mA maximum | ― | ||||||
| 출력방식 | ― | 2선식 | ||||||
| 부하저항 | ― | 250～500 Ω | ||||||
| 출력정확도 | ±1 ％F.S. | |||||||
| 온도특성 | ±0.1 ％F.S./℃ | |||||||
| 응답속도 | 약 2ms | |||||||
※1 아날로그 출력의 분해능은 약 0.1 %FS입니다.
환경특성
| 시험항목 | 시험방법 (조건 25 ± 5℃) | 변동량 |
|---|---|---|
| 진동 | 10 ~ 500 Hz, 1.5 mm maximum / 98.1 m/s2, 3 directions for 2 hours each |
아날로그 출력 시험 전후 최대 ± 2 %F.S. |
| 충격 | 490 m/s2, 3 directions for 3 times each | |
| 내습성 | 40 °C, 90 ~ 95 %RH, 240 hrs. | |
| 압력 사이클 | 0 ～정격 압력 106 회 |
포장에 관하여
- 본제품은 클린 룸내에서 정밀 세정을 실시해, 클린 포장해 출하합니다.
외형치수도
(Unit: mm)
◆ W2 type
◆ C2 type
내부전기회로
◆PA-920S : 전압출력
◆PA-928S : 전류출력
커넥터 케이블 설치도
(Unit: mm)
- 커넥터 케이블은 별매품입니다. 모델명: CN(5P)cable(V)
※사용상의 주의
커넥터의 삽입 및 제거는 제품과 커넥터를 잡고 확실하게 실시해 주십시오. 무리한 삽입, 삽입 도중 상태에서의 사용은 고장의 원인이 됩니다.
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