高真空対応 圧力トランスジューサ PA-920S/928S
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PA-920S
(電圧出力) -
PA-928S
(電流出力) -
Topアングル -
Bottomアングル
(W2 seal type)
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PA-920S
(電圧出力) -
PA-928S
(電流出力) -
Topアングル -
Bottomアングル
(W2 seal type)
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ガス集積化システムに最適な小型圧力センサ
FeaturesFeatures
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小型でガス供給ライン(インライン)/ ガス集積化システムの用途に最適
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センサ素子と継手は溶接による一体構造
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コネクタ化により取付・配線が容易
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出力は電圧/ 電流の2 タイプ
型式表示
PA-920S - | 502G | W2 | ||
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シリーズ名 PA-920S: 電圧出力 (1-5V) |
定格圧力/指示方式 G: ゲージ圧 (正圧) |
継手ブロック仕様 W2:1.125インチWシール |
型式一覧表
型式 | 指示方式 | 定格圧力 | 最大圧力 | 出力方式 | 継手 |
---|---|---|---|---|---|
PA-920S-502G-W2 | 正圧 | 0~0.5 MPa | 0.75 MPa | 電圧出力 | 1.125インチWシール |
PA-920S-502G-C2 | 正圧 | 0~0.5 MPa | 0.75 MPa | 電圧出力 | 1.125インチCシール |
PA-928S-502G-W2 | 正圧 | 0~0.5 MPa | 0.75 MPa | 電流出力 | 1.125インチWシール |
PA-928S-502G-C2 | 正圧 | 0~0.5 MPa | 0.75 MPa | 電流出力 | 1.125インチCシール |
PA-920S-502R-W2 | 連成圧 | -0.1~0.5 MPa | 0.75 MPa | 電圧出力 | 1.125インチWシール |
PA-920S-502R-C2 | 連成圧 | -0.1~0.5 MPa | 0.75 MPa | 電圧出力 | 1.125インチCシール |
PA-928S-502R-W2 | 連成圧 | -0.1~0.5 MPa | 0.75 MPa | 電流出力 | 1.125インチWシール |
PA-928S-502R-C2 | 連成圧 | -0.1~0.5 MPa | 0.75 MPa | 電流出力 | 1.125インチCシール |
PA-920S-103G-W2 | 正圧 | 0~1 MPa | 1.5 MPa | 電圧出力 | 1.125インチWシール |
PA-920S-103G-C2 | 正圧 | 0~1 MPa | 1.5 MPa | 電圧出力 | 1.125インチCシール |
PA-928S-103G-W2 | 正圧 | 0~1 MPa | 1.5 MPa | 電流出力 | 1.125インチWシール |
PA-928S-103G-C2 | 正圧 | 0~1 MPa | 1.5 MPa | 電流出力 | 1.125インチCシール |
PA-920S-103R-W2 | 連成圧 | -0.1~1 MPa | 1.5 MPa | 電圧出力 | 1.125インチWシール |
PA-920S-103R-C2 | 連成圧 | -0.1~1 MPa | 1.5 MPa | 電圧出力 | 1.125インチCシール |
PA-928S-103R-W2 | 連成圧 | -0.1~1 MPa | 1.5 MPa | 電流出力 | 1.125インチWシール |
PA-928S-103R-C2 | 連成圧 | -0.1~1 MPa | 1.5 MPa | 電流出力 | 1.125インチCシール |
標準仕様
動作温度 | -20~70℃ (結露なきこと) |
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補償温度 | 0~50℃ |
動作湿度 | 35~85%RH (結露なきこと) |
保存温度 | -20~80℃ (大気圧、湿度65%RH以下) |
適用媒体 | SUS316Lダブルメルト材を腐食させない気体及び液体 |
絶縁抵抗 | 50 MΩ 以上 (充電部一括と継手間 125 VDC印加後) |
耐電圧 | リーク電流5mA以下 (充電部一括と継手間 125 VDC 1分間 印加) |
接ガス部材質 | SUS316L ダブルメルト材(継手/ センサ) |
接ガス部面粗度 | Ra:0.15, Rz:0.7 μm 以下*1 |
パーティクル(媒体流路内) | 0.1 μm 以上の粒子:ノーカウント (弊社検査基準による) |
保護構造 | IP40 |
質量 | 約90(ケーブルは含まない) |
電源 | PA-920S:駆動電圧 12~24 VDC±10% (リップルを含む) 消費電流 20 mA以下 (Vopr=24 V、Io=0 mA) PA-928S:24 VDC±10% (リップルを含む) |
*1)ガス面はEP(電解研磨)処理を施しております。
アナログ出力
型 式 | PA-920S | PA-928S | ||||||
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502G | 103G | 502R | 103R | 502G | 103G | 502R | 103R | |
出力電圧/電流 | 1~ 5 VDC (FS : 4 V) ※1 | 4 ~ 20 mA (FS : 16 mA) ※1 | ||||||
ゼロ電圧/電流 | 1 V | 1.67 V | 1.36 V | 4 mA | 6.67 mA | 5.46 mA | ||
フル電圧/電流 | 5 V | 20 mA | ||||||
出力電流 | 1 mA maximum | ― | ||||||
出力方式 | ― | 2 線式 | ||||||
負荷抵抗 | ― | 250~500 Ω | ||||||
出力精度 | ±1 %F.S. | |||||||
温度特性 | ±0.1 %F.S./℃ | |||||||
応答速度 | 約2ms |
※1 アナログ出力の分解能は、約0.1%F.S.になります。
環境特性
試験項目 | 試験方法(条件 25 ± 5℃) | 変動量 |
---|---|---|
振 動 | 10 ~ 500 Hz, 1.5 mm maximum / 98.1 m/s2, 3 directions for 2 hours each |
アナログ出力 試験前後最大 ± 2 %F.S. |
衝 撃 | 490 m/s2, 3 directions for 3 times each | |
耐湿性 | 40 °C, 90 ~ 95 %RH, 240 hrs. | |
圧力サイクル | 0 ~定格圧力 106 回 |
梱包について
- 本製品はクリーンルーム内で精密洗浄を行いクリーン梱包し出荷します。
外形寸法図
(Unit: mm)
◆ W2 type

◆ C2 type

内部電気回路
◆PA-920S : アナログ電圧出力回路

◆PA-928S : アナログ電流出力回路

コネクタケーブル取付図
(Unit: mm)
※コネクタケーブルは別売り品として用意しております。型式:CN(5P) ケーブル(V)

- ●本掲載内容は、予告なく変更する場合がありますので、予めご了承ください。